等離子體診斷技術是隨著等離子體科學的進展而發展起來的。20世紀初，開始觀測宇宙等離子體。20年代，為了研究氣體放電，開創了實驗室等離子體診斷。從50年代起，在受控熱核反應和空間技術研究的推動下，等離子體診斷的研究進入全盛時期。

　　等離子體診斷的測量范圍：

　　同一種等離子體參量可用不同的測量方法測量，以便相互印證。各種測量方法有其不同的適用范圍，如測量離子溫度的方法有線光譜的多普勒寬度、電磁波的集體散射、高能中性粒子能譜分析、聚變中子測量等方法。一般高溫時可用中性粒子或中子測量來測定離子溫度，低溫低密度時可用多普勒寬度來測定離子溫度，低溫高密度時可用集體散射方法來測出離子溫度。

　　等離子體診斷是集物理學和技術科學為一體的技術。通過對等離子體物理過程的理解來確定要測的等離子體參量并選定適用的測量方法；測得的結果又需要用等離子體物理知識加以分析，揭示測量結果所反映的物理現象。