飛行時間二次離子質譜儀的基本結構：

　　二次離子質譜儀視其應用之不同而有各種不同的型式，其基本構造可分為下列四大部分：

　　（1）照射激發用的一次離子束的離子槍；

　　（2）以能量選擇由試品產生的二次離子能量過濾器；

　　（3）進行質量選擇的質譜儀；

　　（4）放大、檢測經質量選擇後的二次離子檢測輸出信號。

　　飛行時間二次離子質譜儀的原理：

　　1.利用聚焦的一次離子束在樣品表面上進行穩定的轟擊，一次離子可能受到樣品表面的背散射，也有部分進入樣品表面，這部分離子把能量傳遞給晶格，當入射能量大于晶格對原子的束縛能是，部分原子脫離晶格向表面運動，并且產生原子間的級聯碰撞，當這一能量傳遞到表面，并且大于表面的束縛能時，促使表面原子脫離樣品，謂之濺射；

　　2.上述一次離子引發的濺射大部分為中性原子或分子，也有少量荷電集團，包括帶電離子、分子、原子團，按照荷質比經過質譜分離；

　　3.收集經過質譜分子的二次離子，可以得知樣品表面和體內的元素組成和分布。

　　飛行時間二次離子質譜儀的應用很廣，偵測表面污染、氧化、還原、吸附、腐蝕、觸媒效應、表面處理等動態分析之表面研究工作，尤其可作微量元素分布，因此在材料、化學、物理、冶金及電子方面之發展，使用者很多。該產品不但可作表面及整體之分析，又可直接作影像觀察，其靈敏度及解析能力甚高，由較小的氫至原子量很大的元素均可偵測，尤其對于同位素的分析更是有效。